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四氟甲烷CF4


物理化学性质
四氟甲烷(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane),亦称四氟化碳,全氟化碳,FC-14(R-14)。化学式CF4。相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点-128℃,熔点-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74MPa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5MPa)1.0006。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1MPa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。

用途
四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

包装运输
四氟甲烷对金属、合金不腐蚀,可用无缝钢瓶和铝合金容器装运,充瓶压力通常低于12.5MPa,按压缩气体运输,钢瓶每五年检验一次,国外规定可用汽车、火车、轮船和飞机运输,国内目前无规定。钢瓶包装(14MPa)(DOT-3AA GB-5099),阀门(CGA-580/590,QF-2),32kg/48.8L,30kg/43.3L ,5kg/8L,2.5kg/4L。

四氟甲烷产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4

指标名称高纯级优级品一级品
含量,%(v/v)≥99.9999.999
氮气,%(v/v)≤0.0020.030.3
氧气,%(v/v)≤0.00050.010.1
水份,ppm ≤5510
二氧化碳,ppm ≤510 800
氟化碳,ppm ≤1520 -
酸度,(HF)ppm ≤0.11 -
六氟化硫,ppm ≤ - -600


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